国内唯一！黄石这家企业靠“一口气”，打破国外垄断

黄石发布

摘要：走进湖北玖恩智能科技的无尘车间一排排精密设备平稳运行这套设备如同“巨型净化器”工业气体通入后能稳定产出芯片制造专用的超高纯特种气体这种特种气体是芯片生产不可或缺的材料就像人类离不开空气一旦超高纯气体供应被卡住整个芯片制造工序都将“窒息”扎根黄石的玖恩智能自主攻克多项被国外垄断的核心技术整套设备实现国产替代补齐了本地芯片产业链的关键一环 核心突破：从“卡脖子”到自主“呼吸”芯片制造对气体纯净度的要求近乎苛刻：常规产线气体需达到9个9的纯度相当于10座大型体育场里只允许有1颗异色乒乓球高端光刻机配套用气的标准更是拉高至12个9一丁点杂质都可能造成产线数亿元损失长期以来，氯化氢、溴化氢等60余种特种气体的提纯填料和高温裂解工艺，一直掌握在美、日企业手中。国内晶圆厂只能高价采购进口设备，交付动辄数月，供应链完全受制于人。“国外越是封锁，我们越要自主突破。”企业研发总监蔡文亮直言，早在公司2020年注册前，技术团队就已提前布局，2021年第一代自研纯化设备完成样机测试并正式量产。整套提纯设备的核心是内部的定制填料，不同配方分别负责去除水汽、油污、酸性杂质和碳氢化合物。但海外没有任何公开技术资料，耐腐蚀、不粉化、强吸附等关键性能，只能靠团队一次次试错摸索。最难攻关的是氯化氢提纯填料技术。行业硬性规定，气体水分必须稳定控制在十亿分之十五以内。研发人员每调整一次原料配比，都要走完密封、吸附、纯度检测等全套流程，单次试验就要耗费好几天。多轮配方调试下来，实验室堆满废弃样品 ...

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